日前，我國(guó)集成電路生產(chǎn)領(lǐng)域已經(jīng)基本實(shí)現(xiàn)了核心裝備國(guó)產(chǎn)化。背景經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)集成電路廠商中芯國(guó)際目前已經(jīng)運(yùn)用過(guò)國(guó)產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行晶圓加工，并突破一千萬(wàn)片次。這意味著我國(guó)自主研發(fā)的設(shè)備在集成電路生產(chǎn)中得到了驗(yàn)證，國(guó)產(chǎn)設(shè)備的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力與技術(shù)實(shí)力將會(huì)進(jìn)一步得到認(rèn)可，我國(guó)電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)的整體實(shí)力也有望得到大幅提升。
以中芯國(guó)際的集成電路生產(chǎn)線為例，其工藝制造需要較高的精度與復(fù)雜程度，尤其是芯片生產(chǎn)方面，需要電子、機(jī)械、軟件、材料與控制等多個(gè)學(xué)科的相互配合，因此具有較高的技術(shù)含量。而相關(guān)的技術(shù)，尤其是離子注入、光刻、薄膜、氧化機(jī)等設(shè)備，其關(guān)鍵技術(shù)都掌握在歐美等少數(shù)公司手中。但是如今，經(jīng)過(guò)幾年的發(fā)展，一些國(guó)產(chǎn)的電子專用設(shè)備正逐漸向我國(guó)集成電路生產(chǎn)領(lǐng)域覆蓋。
可以說(shuō)，我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ)是各類電子專用設(shè)備。在全球制造業(yè)向我國(guó)轉(zhuǎn)移的過(guò)程中，電子信息產(chǎn)業(yè)目前已經(jīng)得到了較為長(zhǎng)足的進(jìn)步。并且，電子專用設(shè)備也相應(yīng)得保持了較高的增長(zhǎng)速度。
盡管當(dāng)下產(chǎn)業(yè)在我國(guó)已經(jīng)取得了較大的發(fā)展成績(jī)，但是總體來(lái)看，目前產(chǎn)業(yè)規(guī)模依舊較小，自主創(chuàng)新的能力有待提高，在高端設(shè)備開發(fā)方面相對(duì)來(lái)說(shuō)還是較為落后。另外，由于我國(guó)本土電子專用設(shè)備企業(yè)的實(shí)力不強(qiáng)，造成一些產(chǎn)品雖然具有較高性價(jià)比，但是由于可靠性差，導(dǎo)致市場(chǎng)占有率較低。
再者，電子專用設(shè)備生產(chǎn)環(huán)節(jié)來(lái)說(shuō)，由于產(chǎn)品與后續(xù)的制造工藝緊密相關(guān)，因此其裝備制造水平也嚴(yán)重影響了下游產(chǎn)品的質(zhì)量。但是當(dāng)下由于我國(guó)電子專用設(shè)備開發(fā)并沒有與下游電子產(chǎn)品的制造環(huán)節(jié)形成聯(lián)動(dòng)，間接地也影響了技術(shù)成果的轉(zhuǎn)化。
總體來(lái)看，我國(guó)電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展水平仍舊較為落后，與發(fā)達(dá)國(guó)家相比存在一定的差距，而且，不少關(guān)鍵設(shè)備仍舊需要進(jìn)口。
因此，面對(duì)這種狀況，工信部也專門引發(fā)了《電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)規(guī)劃》，對(duì)產(chǎn)業(yè)發(fā)展提出了集中力量土坯、開發(fā)具有市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力、滿足國(guó)家重大戰(zhàn)略需求的關(guān)鍵產(chǎn)品，并推動(dòng)產(chǎn)品進(jìn)入生產(chǎn)線，提升市場(chǎng)自給率的措施。
鐘小姐
